水利师职称评审实用新型专利好用吗
一种溅镀靶极自循环冷却装置
本实用新型系提供一种溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元。该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在10~15℃，用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供给经回流之冷却水。温控阀进水单元未动作时，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极，可独立控制循环至溅镀靶极的水流及水压，当温控阀进水单元动作时，阀门打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，阀门既关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极，藉此，整体溅镀靶极可独立控制温度，热交换效率佳，且达到省水功效。
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