气体传感器种类
半导体气体传感器可分为电阻型和非电阻型结型、MOSFET型、电容型。电阻型气敏器件是气体分子引起敏感材料电阻变化；非电阻型气敏器件有Ms二极管和结型二极管以场效应管MSFET，它利用敏感气体会改变MOSFET开启电压，其与ISFET离子敏传感器件相同。
气体传感器样式
1、灵敏度
当氢气浓度较低时，氢气敏MOSFET灵敏度很高，1ppm氢气浓度变化，△UT值可10mV，当氢气浓度较高时，传感器灵敏度会降低。2、对气体性
钯原子间“空隙”恰能让氢原子通过，因此，钯栅只允许氢气通过，有很性。3、响应时间
这种器件响应时间受温度、氢气浓度影响，温度越高，氢气浓度越高，响应越快，常温下响应时间为几十秒。
气体传感器定做
可见，在一定温度下，固定PO21，有上式可出传感器极待测氧气浓度。除测氧外，β一Al2O3、碳酸盐、NASICON等固体电解质传感器，还可用来测CO、SO2、NH4等气体。近年来还出现锑酸、La3F等可在低温下气体传感器，并可用于正离子。
