固态、液态和气态是人们每时每刻所感知的三种物质状态，这三种状态的物质是由原子和分子构成。通过输入能量(如热量)，可实现物质从一种状态转化为另一种状态。当气态物质被进一步加热到更高的温度时，或是气体在受到高能量的照射后，气体物质就转化为第四态，即等离子体态。在这种状态下，部分气体原子已解离成电子和离子，也有一些在吸收能量后变成具有化学活性的亚稳态原子。在这种状态中，不但包含有一定能量的中性原子和分子，而且还有相当量的带电粒子、一定量的带有化学活性的亚稳态原子和分子。电离出的自由电子总的负电量与正离子总的正电量相等，这种高度电离的、宏观上呈中性的气体叫等离子体。
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子清洗机在材料学，光学，电子学，医药学，环境学、生物学等科研领域得了广泛的应用，主要用于材料表面清洗、活化、沉积、去胶、刻蚀、接枝聚合、疏水、亲水、金属还原、去除有机物、镀膜前处理、器械消毒等。等离子清洗机的清洗特点是容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。
