PI 的多轴压电挠性平台允许在多达 6 个轴上以亚纳米精度进行定位和扫描,包括倾斜、倾斜和偏航运动。版本范围从紧凑的立方体设计到大孔径和低剖面。
Physik Instrumente (PI)XYZ 扫描仪是定位技术的多面手。应用包括样品调整、技术、光学计量、光纤定位和光子学,以及原子力显微镜。
Physik Instrumente (PI)P-616 NanoCube ®纳米定位器
忒点:
用于纳米定位和光纤对准的紧凑型平行运动压电系统
平行运动设计,可在所有空间方向上实现刚度
即使负载高达 100 g,也会因高共振频率而实现高动态运动
由于单一安装平台,创新的产品设计可灵活使用。
市场上具有 ID 芯片功能的纳米定位器
市场上小、轻的 NanoCube®,行程为 100 µm
Physik Instrumente (PI) P-616.3C应用领域:
光纤定位和对准
扫描显微镜
2-光子聚合
纳米技术和纳米制造
光子学/集成光学
显微操作
样品定位
PICMA® 压电执行器具有出色的使用寿命
Physik Instrumente (PI) P-616.3C技术数据:
运动 P-616.3C 宽容
活动轴 XYZ
X行程范围 100微米
Y行程范围 100微米
Z行程范围 100微米
X 方向的行程范围,开环 110微米 ±20%
Y行程范围,开环 110微米 ±20%
Z行程范围,开环 110微米 ±20%
X 中的线性误差 0.03% 类型。
Y 中的线性误差 0.03% 类型。
Z 中的线性误差 0.03% 类型。
Physik Instrumente (PI) P-616.3C获得专利的 PICMA® 压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而导致的潮湿和故障。Physik Instrumente (PI) P-616.3CPICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。Physik Instrumente (PI) P-616.3C证明了 1000 亿次循环而没有一次故障。
Physik Instrumente (PI) 纳米定位器 P-616.3C用于压电系统