也可测量软质材料表面;可以得到较高的测量速度;可用于复杂曲面、原装精密谐波SHG-17-120-2SH内表面、沟槽和窄小表面的测量，亦可方便地得到多种粗糙度参数值。其不足之处是分辨力受到光针焦点光斑直径〔1一2}em)的限制·
C2)针描法测量的几项有关问题
1)测量基准的实现针描原装精密谐波SHG-17-120-2SH法测量基准有两类:基准和相对基准。
采用基准的针描法中，探针横向运动轨迹是外部提供的理想基准轮廓，如探针运动导轨、导向玻璃平面或曲面等。由于基准误差将直接带入测量结果之中，因而基准本身应具有十分高的精度。原装精密谐波SHG-17-120-2SH这种方法中探针所测得的结果将包括形状误差、表面波纹度和表面粗糙度在内的全部轮廓不平度。
