编程分辨率是指程序中可以设定的最小距离单位，又称为基准分辨率。例如，当电动机旋转0.1°，机器人腕点(手臂尖端点)移动的直线距离为0.01 mm时，其基准分辨率为 0.01 mm。
控制分辨率是位置反馈回路能够检测到的最小位移量Harmonic达芬奇精密手术用谐波减速机CSF-58-100。例如，若每周（转）1 000个脉冲的增量式编码盘与电动机同轴安装，则电动机每旋转0.36°(360°，1 000 r/min)，编码盘就发出一个脉冲，0.36°以下的角度变化无法检测，则该系统的控制分辨率为0.36°。显然，当编程分辨率与控制分辨率相等时，系统性能高。
控制算法误差主要指算法能否得到直接解和算法在计算机内的运算字长所造成的比特(bit)误差。因为16位以上CPU进行浮点运算时，精度可达到82位以上，所以比特误差与机构误差相比基本可以忽略不计。
