MLase MLI准分子激光器
MLI 系列由具有直接波长的准分子激光器组成,适用于工业应用。当然,我们可以调整我们的基本设备以满足您的个性化需求。
MLI-200 / 500 / 1000 准分子激光器
MLase现代紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高达 16 mJ 的高脉冲能量和高达 1,000 Hz 的脉冲重复频率。
它们是市场上使用寿命最长、可靠性、运营成本的独立设备。它们均匀的钢型材和能量稳定性使它们非常适合要求苛刻的应用。
我们的LC准分子激光系统还能够进行主动水冷却(使用生活用水或外部热交换器;无需纯净水),以实现稳定的连续运行。
MLI准分子激光器
MLI 500 KRF
MLI=类型,500 =最大重复率; KrF = 波长 248 nm;
MLase MLI-200 / 500 / 1000
主要特征
刚性设计
电晕预电离
固态电路
管技术
能量监视器 RoHS,CECDRH 合规
紧凑型准分子激光单相
产品优势
高可靠性
均匀的光束轮廓
即时可用,不老化
管子全金属密封
数十亿个脉冲的延长寿命
能量稳定
MLase准分子激光器 MLI-200系列 具有高达16 mJ的高脉冲能量
MLase准分子激光器 MLI-200系列 具有高达16 mJ的高脉冲能量