由于O、OH基等具有强氧化能力，结果使H分解氧化、终生成CO2和H2O，即VOCs通过放电处理终变为无害物质。研究表明，非平衡态等离子中，只有电子的温度是很高的，整个等离子气体区域温度只比未反应时升高1℃，因此该法具有很高的能量效率，是处理低浓度、高流速、大流量的VOCs较为理想的方法。当前，等离子法处理VOCs的技术尚处研究阶段。3紫外线氧化紫外线(UV)氧化法，也称间接等离子体法。
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由于O、OH基等具有强氧化能力，结果使H分解氧化、终生成CO2和H2O，即VOCs通过放电处理终变为无害物质。研究表明，非平衡态等离子中，只有电子的温度是很高的，整个等离子气体区域温度只比未反应时升高1℃，因此该法具有很高的能量效率，是处理低浓度、高流速、大流量的VOCs较为理想的方法。当前，等离子法处理VOCs的技术尚处研究阶段。3紫外线氧化紫外线(UV)氧化法，也称间接等离子体法。
