液压系统监测及诊断装置即为故障诊断，故障诊断可分为便携式简易诊断和在线精密诊断两大类别。液压泵故障的预兆主要参数是压力降低，流量减少，温度上升，变量速度超时，噪音上升与振动增大，泵内泄漏量超标等。检测不同参数时，应根据液压泵所反映出来的实际状况，现场条件和精度要求的差异。液压泵故障诊断器的原理是通过振动诊断法进行检测，经微型计算机分析处理并做出故障预报。可以较快的从泵的外部直接检测出泵内部磨损情况，从而有效地防止了泵的故障发生，提高了主机的可靠性。
泵检测还可以采用液压测试仪检测泵的总效率。液压测试仪是由流量，压力表和温度计所组成，可联接到泵的排口，通过调节仪器的各项功能检测出泵排口在各级压力下的流量，绘制出泵总效率曲线图。
测试仪与泵泄油口联接检测泵内泄量。泵的泄漏量是随在线使用时间而变化的，在固定的周期时间内，测出泄漏量的变化就可相应得知泵影响系统能否正常工作的运行状态变化，将泄漏量随时间变化的曲线称为状态曲线，作为泵工作状态的评定指标，可用以进行故障预报和维修期的确定。
大型液压站都是由多台柱塞泵组成的液压系统并配有配套的大型蓄能器组， 如果其中有一台泵内泄漏量大或达不到工作压力时，对整个液压系统压力及流量危害不能立即显现出来，点检人员必须每日对工作的泵查看电流表上的电流值并做出记录。如果泵群组其中的一台泵工作压力比另外的泵工作压力低时，压力低的泵在电流表上显示比正常工作的泵电流值低，即少做功的泵比正常做功的泵需用的电流低。
液压柱塞泵内泄漏量大，泵内的摩擦副间隙增大造成压力油泄漏，泄漏的压力油转变成热能，事必造成泵壳同正常泵壳的温度差别。如果泵内轴承疲劳磨损，轴承发热并伴有杂音，热量就在泵壳外表处显现出来，以上二种发热现象采用“红外线电子测温仪”检测对比，有问题的泵壳表面温度就会比正常工作的液压泵壳温度高。点检人员应每4h小时用“电子测温仪”检测一次泵主轴外部、泵壳体中部、泵后盖处等三处温度并在泵温升曲线表上标出温度记录，此温度曲线表可与泵监测诊数据表同时提供给技术人员，便于技术人员对泵做出正确的判断。
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