日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪
YPI-MX-ΘDC
YPI-MN
晶圆
DF / WF-1
YPI-MX系列（自动转移）玻璃基板/蓝宝石表面检查装置
YPI-MX-XYA /YPI-MX-ΘA
玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列（自动转移）
于透明玻璃基板的机器，也支持各种背面缎面基板。
传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。
设备规格
对应板子尺寸200mm x 200mm（如果需要200mm以上，请与我们联系）扫描方式XY扫描/Θ-X扫描（螺旋扫描）吞吐率
□200mm（XY）约4分钟
Φ200mm（Θ）2分钟以内
Φ150mm（Θ）1.5分钟以内
Φ100mm（Θ）1分钟以内工作安装转移机械手（背面吸力/边缘夹具）设备外形尺寸宽1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米体重约1,000kg能量消耗约2.0kW（100V）待检查的基材硅晶片，透明玻璃基板，蓝宝石基板，LT晶片，SiC等检测灵敏度透明玻璃基板0.2μm
硅晶圆0.1μm
