一、表面形貌仪的介绍:
表面形貌仪采用的白光共聚焦技术,Z高扫描速度可达1m/s,可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试,具有测量精度高,速度快,重复性好的优点,测量不受样品反射率和光的影响,测量简单,可用于测量大尺寸样品,如透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料等,主要应用于半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发。
二、测量原理:
低相干白光同时照射样品和参考平面,被样品和参考平面反射的两束白光发生干涉后由阵列式CMOS探测器接收,由于探测器直接与信号处理芯片(Smart Pixel技术)连接,所以阵列上每个像素点的信号都在芯片中完成锁相放大,背景信号补偿和结果计算输出,成像于计算机就实现了样品表面的快速三维形貌测量。
三、在工业领域的应用:
食品安全在线检测。微电子集成电路表面形貌在线检测。
印刷电路板品质检测。
零件器件表面划痕损伤检测。
微机械精加工质量控制,如钟表,微机械器件等。
电子产品零件在线监控,如手机,笔记本电脑,平板等。
微流体器件三维形貌检测。
在线检测设备集成。
证.件防伪,安检。
四、技术特点:
1、每秒一百万张二维图像。
2、无损表面形貌检测和分析。
3、高精度在线/离线检测。
4、模块化设计,超高集成灵活性。
5、无需苛刻的工作环境(振动,噪声,温度等)。
6、可应用于科研和工业领域。