|
活塞干式真空泵通过气缸内皮碗密封的往复运动
来形成真空状态。泵速体积越大,泵机扬程数越高。
• 真空吸盘
• 半导体工业。(处理装置,安装器)
• FPD 工业。(贴合机)
• 印刷设备
• 注模
• 吸附与输送 |
|
单位 |
50Hz |
60Hz |
实际抽速
|
L/min |
420 |
460 |
极限压力
|
Pa |
17.3 × 103 |
马达
|
|
三相, 200V, 550W, 4P |
满载电流
|
A |
3.5 |
3.1 |
重量
|
kg |
33.0 |
进出气管道直径
|
mm |
外径26 × 内径20 (Rc 3/4) |
环境温度
|
°C |
0 – 40 |
尺寸
|
mm |
310(W) × 523(L) × 253(H) |
|
|