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• 双绕式涡旋泵,含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
• 分析设备
• 气体回收系统
• 涂料设备
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• TMP 前级泵
• 氦渗漏探测器
• 半导体制造工艺
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单位 |
50Hz |
60Hz |
实际抽速
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L/min |
90 |
108 |
极限压力
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Pa |
5.0 |
马达
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单相, 100/115/200/230V,
150W, 4P, 电容启动运行 |
满载电流
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A |
2.6/1.3/1.6
(100/200/230V) |
2.1/2.2/1.1/1.1
(100/115/200/230V) |
重量
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kg |
14.0 |
进出气管道直径
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进气管 KF-25 出气管 KF-16 |
环境温度
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°C |
5 – 40 |
水蒸气处理
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g/天 |
≤5 (A.F. 开启) |
尺寸
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mm |
214(W) × 308(L) × 225(H) |
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