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• 双绕式涡旋泵,含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
• 分析设备
• 气体回收系统
• 涂料设备
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• TMP 前级泵
• 氦渗漏探测器
• 半导体制造工艺
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单位 |
50Hz |
60Hz |
实际抽速
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L/min |
250 |
300 |
极限压力
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Pa |
1.6 |
马达
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单相 |
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100/115/200/230V, 400W, 4P, 电容启动运行
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三相 |
200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P
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满载电流
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单相 |
A |
4.8/2.6/2.4
(100/200/230V)
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4.8/4.3/2.8/2.4
(100/115/200/230V)
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三相 |
1.6/0.9/0.9/1.0
(200/380/400/415V) |
1.9/1.9/1.8/1.0
(200/208/230/460V) |
重量
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单相 |
kg |
25.0 |
三相 |
23.0 |
进出气管道直径
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进气管KF-25 出气管 KF-16 |
环境温度
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°C |
5 – 40 |
水蒸气处理
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g/天 |
≤25 (A.F. 开启) |
尺寸
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单相 |
mm |
252(W) × 400(L) × 336(H)
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三相 |
252(W) × 370(L) × 336(H) |
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