 |
• 双绕式涡旋泵，含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大气压下实现操作运行。
• 可实现高极限真空。
• 低振动低噪音。
• 维护周期可通过计时表控制。
• 分析设备
• 气体回收系统
• 涂料设备
|
• TMP 前级泵
• 氦渗漏探测器
• 半导体制造工艺
|
|
|
| |
单位 |
50Hz |
60Hz |
实际抽速
|
L/min |
500 |
600 |
极限压力
|
Pa |
1.0 |
马达
|
单相 |
|
100/115/200/230V, 600W, 4P, 电容启动运行 |
| 三相 |
200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P |
满载电流
|
单相 |
A |
8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)
|
2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V) |
| 三相 |
10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V) |
2.8/2.5/2.5/1.47
(200/208/230/460V) |
重量
|
单相 |
kg |
44.0 |
| 三相 |
38.0 |
进出气管道直径
|
|
进气管KF-40 出气管 KF-25 |
环境温度
|
°C |
5 – 40 |
水蒸气处理
|
g/天 |
≤25 (A.F. 开启) |
尺寸
|
单相 |
mm |
290(W) × 443(L) × 397(H) |
| 三相 |
290(W) × 372(L) × 397(H) |
|
电压
|
现行电压 |
CE 认证 |
CSA 认证 |
单相, 100V, 200V, 230V
115V (60Hz)
|
标准 |
 |
|
三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz)
200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)
|
标准 |
|
|
|
