VPC系列／高速真空镀膜装置
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| 规格参数 |
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型 号
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VPC-1100 | |
| 真空性能 |
极限压力
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4.0 × 10-4Pa 1.3 × 10-4Pa (使用液氮时) |
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排气时间
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4.0 × 10-3Pa/10min 10-4Pa/10min (使用液氮时) |
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| 真空舱 |
钟罩尺寸
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玻璃钟罩 （直径390mm × 350mm(H)) |
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馈通圈
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20个端口（14侧面、6底面） | |
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标准基板・最大尺寸※1
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□50mm ・ □220mm（最大） | |
| 供电系统 |
蒸发电极结构
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3点式 |
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蒸发电源
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SEREM “PSE-150C”，0 – 10V ，150A (最大) | |
| 排气系统 |
主泵※2
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油扩散泵（水冷） 1100 L/sec |
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液氮冷阱
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有 | |
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前级泵
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油旋片真空泵 100 L/min ×2 | |
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油雾过滤器
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可选 | |
| 操作系统 |
主阀门
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瓣阀 |
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副阀门
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三向切换阀 | |
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自动渗漏阀
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可选 | |
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控制
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手动控制 | |
| 控制系统 |
皮拉尼真空计
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GP-1G |
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电离真空计
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可选 | |
| 外形 |
尺寸（主体）
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1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H) |
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尺寸（蒸发电源）
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安装在设备的主体 | |
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重量（主体）
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313kg | |
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重量（蒸发电源）
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安装在设备的主体 | |
※1: 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
※2: 可以安装涡轮分子泵（TMP）。
※2: 可以安装涡轮分子泵（TMP）。
| 条 件 |
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型 号
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VPC-1100 | |
| 电源需求 |
主体
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三相, 200V, 5.0kVA |
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主体
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单相, 100V, 1.0kVA | |
| 接地端子 | D级（接地抗阻/100Ω 或更低） | |
| 附件 |
主体 ： 三相，200V
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乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m |
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主体 ： 单相，100V
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乙烯绝缘软电缆（带插头） 4m | |
| 用水需求 | 1.5L/min（水温：低于20-25℃，水压：200kPa） | |
| 附件 | Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头) | |
| 推荐软管※ | 蒂托轮编织软管（内径9mm×外径15mm） | |
※ 冷却水管由客户自己准备。
| 外形图 |
 VPC-1100 |
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蒸发电源 SEREM
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| 馈通圈 |
