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型 号
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VFR-200M/ERH
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真空性能
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极限压力
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8.0 × 10-4Pa
6.0 × 10-4Pa (使用液氮时)
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排气时间
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4.0 × 10-3Pa/15min
3.0 × 10-3Pa/15min (使用液氮时)
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真空舱
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钟罩尺寸
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玻璃钟罩 （直径300mm × 300mm(H))
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馈通圈
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12个端口（8侧面、4底面）
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标准基板・最大尺寸 ※1
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□50mm ・ □140mm（最大）
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供电系统
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蒸发电极结构
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1点式
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蒸发电源
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SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
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排气系统
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主泵
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油扩散泵（气冷） 200 L/sec
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液氮冷阱
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有
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前级泵
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油旋片真空泵 100 L/min
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油雾过滤器
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油雾过滤器 OMI-100
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操作系统
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主阀门
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蝶阀
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副阀门
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三向切换阀
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自动渗漏阀
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可选
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控制
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手动控制
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控制系统
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皮拉尼真空计
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GP-1G
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电离真空计
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GI-M2
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外形
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尺寸（主体）
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730mm(W) × 603mm(D) × 1161mm(H)
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尺寸（蒸发电源）
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480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
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重量（主体）
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145kg
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重量（蒸发电源）
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40kg
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VFR-200M/ERH
