GRISH 液态蜡
一种易清洗、环保型液态蜡,其拥有良好的流动性,可均匀涂布到工件上,质量稳定、无气泡杂质,适用于高精度的切削、研磨、抛光等制程。
根据加工工艺中温度要求的不同,本产品分为一般型和耐温型,型号分别为LW-NT-100和 LW-HT-100。
产品规格
项目 | 一般型液态蜡 LW-NT-100 | 耐温型液态蜡 LW-HT-100 |
外观 | 橘黄色~深褐色透明液体 | 橘黄色~深褐色透明液体 |
粘度(cps) | 20±5 | 55±5 |
固含量(%) | 38±2 | 41±2 |
软化温度(℃) | 89 | 97 |
耐受温度(℃) | 45~50 | 55~60 |
比重 | 0.95±0.02 | 0.95±0.02 |
粘结力(2*2cm2) | >20kgf/cm2 | >20kgf/cm2 |
产品优势
耐温型液态蜡应用于对蓝宝石材料抛光温度要求严苛的环境,例如CMP带盘抛工艺,CMP过程中可承受50~60℃的高温。
产品使用说明
使用条件 | 上蜡 | 下蜡 | |
Wafer 表面温度 | 陶瓷盘温度 | 下蜡温度 | |
一般型 | 70~80℃ | 110~120℃ | 100℃ |
耐温型 | 80~90℃ | 130~140℃ | 130℃ |
注意事项 | 开封后应尽快使用完毕 |
保存及运输
1)置于阴凉处,避免日晒、雨淋,室温下保存。
2)保存期限:10个月。
3)常规包装为1L/瓶,可根据客户需要进行调整。
应用范围
蓝宝石衬底窗口片、LED芯片及半导体加工制程:应用在研磨、抛光制程中的蓝宝石、硅、碳化硅等基板与载具的贴合。