应用领域
GKS系列扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺，同时也用于石英制品的退火、稀有金属粉末和发光材料的煅烧等工艺。
主要特点
* 采用高纯石英管作为内炉膛，具有优良的洁净度。
技术参数
设备型号： |
GKS(D)-09/90/3 |
GKS(D)-18/110/3 |
GKS(S)-09/90/3 |
GKS(S)-18/110/3 |
最高温度： |
1050℃ |
1050℃ |
1050℃ |
1050℃ |
使用温度： |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
RT～1000℃ |
控制精度： |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
温区个数： |
3个 |
3个 |
6个 |
6个 |
炉管材质： |
高纯石英 |
高纯石英 |
高纯石英 |
高纯石英 |
发热元件： |
Kanthal电阻丝 |
Kanthal电阻丝 |
Kanthal电阻丝 |
Kanthal电阻丝 |
加热区长度： |
900mm |
1100mm |
900mm |
1100mm |
炉管尺寸： |
Ф90×1800 |
Ф180×2100 |
Ф90×1800 |
Ф180×2100 |
加热功率： |
7.5Kw |
15Kw |
15Kw |
30Kw |
