1000(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 仓体结构(石英，约20升)Φ 245mm ×400Lmm
◆ 等离子发生器(德国)频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作
◆ 控制系统触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)英国爱德华斡旋式干泵 GV40
美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器
台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管
美国MKS高精度电子质量流量计(2路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
