| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Laurell | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否进口 | 是 | ||
| 操作方式 | 智能程控 | ||
| 转速范围 | 0-12000rpm | ||
| 加速度范围 | 0-12000rpm | ||
| 工艺时间 | 1-5999.9 sec/step | ||
| 存储程序 | 20条 | ||
| 程序步骤 | 51步 | ||
| 转速分辨率 | 1rpm | ||
| 处理基片尺寸 | 10-150mm | ||
| 腔体材质 | NPP聚丙烯 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 型号 | HL-650Mz-23NPPB | ||
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一、产品概述：
????最新款?HL-650MZ-23NPPB匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动，可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性，这正是H6匀胶机的特点。
二、匀胶机工作原理：
匀胶机?HL-650MZ-23NPPB的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，甩胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
三、匀胶机?HL-650MZ-23NPPB 主要性能指标：
1、Windows 10平板电脑，SPIN 3000 PC触摸界面软件轻松编程；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm，（小于10mm可选配托盘）；
3、转动速度：0-12,000rpm；?
4、旋涂加速度：0-12,000rpm/sec；
5、马达旋涂转速：稳定性能误差<±1；
6、转速调节精度：不超过1rpm，不超过1rpm；
7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
9、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；
10、分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！
11、配套真空泵系统：无油型?220~240伏交流，50/60赫兹；
12、原装进口水平测试仪；?
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迈可诺技术有限公司
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