Tergeo Pro大尺寸台式等离子清洗机

Tergeo-Pro 等离子系统将腔室直径增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等离子系统足够大，可以容纳 8 英寸晶圆，容纳一两个 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等离子系统可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射频功率。射频功率可以 1 瓦的间隔进行调整。射频电源的频率为 13.56MHz，提供比 KHz 射频等离子系统更高的等离子生成效率。Tergeo 等离子系统不仅可以调整射频功率，还可以产生连续或脉冲等离子。脉冲比可以从 调整到小于 1。夸脱室壁结构可实现外部电容耦合射频电极设计。

以下是典型应用案例：

1）光刻胶灰化、除渣和硅片清洗；

2）在引线键合、倒装芯片底部填充、PCB去污之前清洁芯片；

3）生物医用涂层前表面处理，提高医用植入物的亲水性；

4）环氧树脂粘合前的光学元件、玻璃、光纤头和基板清洁；

5）PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室；

6）改善金属与金属或复合材料的粘合；

7）改善塑料、聚合物和复合材料的粘合；

产品特点：

1.大型样品室

针对大尺寸基片而研发设计，腔室足够大，可容纳8英寸晶圆，一个或两个 25片/50片 6"/4"晶圆 的石英舟。

2.等离子传感器

可实时监测等离子状态，并为用户提供不同配方条件下等离子强度的定量反馈，实时显示在液晶触摸屏显示器上。等离子传感器还可以监测等离子灰化过程的进程并用作终点指示器。

3.连续或脉冲等离子

脉冲比可以从 调整到小于1。改变等离子体强度超过几个数量级。

4.过程控制功能

压力传感器、温度传感器、MFC中的气体流量计、等离子强度传感器、自动阻抗匹配。

技术参数：

1、舱体大小：内径230mm，外径240mm，深度340mm，可容纳一个8英寸晶圆，一个或两个?25片/50片?6"/4"晶圆的石英舟。

2、舱体材质：标配为高纯度圆柱形石英舱。

3、样品架：5mm厚高纯石英板，尺寸宽度220mm?x?长度280mm。

4、常用气体：空气，氧气，氢气，氩气，氮气和其他混合气体。

5、气路控制：标配两路MFC；zui多可选配三路MFC，0~100sccm之间 控制气体流量。

6、控制系统：7英寸电阻触摸屏操作界面。

7、程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤。

8、射频频率：13.56MHz。

9、射频功率：标配0~150W，以1瓦间隔连续可调，自动阻抗匹配；可选配300W或500W。

10、等离子源:：等离子强度探测器实时定量检测等离子状态；电阻耦合电离方式?。

11、电极设计：外置电极设计，可实现更大、更均匀的等离子体体积，高压电极不和等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。

12、设备电源：220?V/50Hz。