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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 激光波长 | 1064nm/532nm/355nm | ||
| 激光器 | 光纤、绿光、紫外 | ||
| 整机精度 | ±15μm | ||
| 加工幅面 | 600*1200mm/600*600mm（标准尺寸，可根据客户要求定制） | ||
| 设备尺寸 | 1650mmL×1300mmW×1670mmH | ||
| 脉冲宽度 | 纳秒、飞秒、皮秒可选 | ||
| 工作台定位精度 | ±2um | ||
| 最小聚焦光斑 | ＜10μm（视材料与激光器类型、脉宽而定） | ||
| 工作台重复精度 | ±1um | ||
| 刻蚀速度 | ＜4000mm/s | ||
| CCD自动定位精度 | ±3μm | ||
| 设备重量 | 1800kg | ||
| 激光功率 | 20W/10W/10W | ||
| 可处理文件格式 | 标准CAD2004版DXF文件 | ||
| 品牌 | 元禄光电 | ||
| 刻蚀最小线宽 | ＜10μm（视材料与激光器类型、脉宽而定） | ||
| 单次最大幅面 | 110mmX110mm (标准配置，根据需求可选配) | ||
