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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | ET650-NF | ||
| 刻蚀最小线宽 | ≥20 um（最大可以去除95％以上的氧化物镀层） | ||
| 激光器 | 窄脉宽红外纳秒激光器 | ||
| 整机精度 | ±20μm | ||
| 加工幅面 | 600*600mm/1200*600mm（可定制） | ||
| 最小线间距 | ≥20μm | ||
| 聚焦光斑 | ≥20μm | ||
| 工作台定位精度 | ±2um | ||
| 激光器频率调节范围 | 100K-500KHz | ||
| 工作台重复精度 | ±1um | ||
| CCD自动定位精度 | ±2um | ||
| 刻蚀速度 | ＜4000mm/s | ||
| 设备尺寸 | 1650mmL×1500mmW×1750mmH | ||
| 设备重量 | 1800kg | ||
| 功率消耗 | ＜3000W | ||
| 可处理文件格式 | 标准CAD DXF文件 | ||
| 激光波长 | 1064nm | ||
| 品牌 | 元禄光电 | ||
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