| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否进口 | 否 | ||
| 外形尺寸 | 630610500mm | ||
| 重量 | 40kg | ||
| 型号 | NS200 | ||
| 单次扫描长度 | 55mm | ||
| 最大样品厚度 | 50mm | ||
| 载物台可装载最大晶圆尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 最大扫描采样点数 | 120000 | ||
| 探针传感器 | 超低惯量，LVDC传感器 | ||
| 测量力 | 1-50mg可调 | ||
| XY移动 | 150mm×150mm | ||
| 真空吸盘 | 标准配置6英寸真空吸盘 | ||
| 相对湿度 | 湿度 （无凝结）30-40％ RH | ||
| 品牌 | 中图仪器 CHOTEST | ||
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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否进口 | 否 | ||
| 外形尺寸 | 630610500mm | ||
| 重量 | 40kg | ||
| 型号 | NS200 | ||
| 单次扫描长度 | 55mm | ||
| 最大样品厚度 | 50mm | ||
| 载物台可装载最大晶圆尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 最大扫描采样点数 | 120000 | ||
| 探针传感器 | 超低惯量，LVDC传感器 | ||
| 测量力 | 1-50mg可调 | ||
| XY移动 | 150mm×150mm | ||
| 真空吸盘 | 标准配置6英寸真空吸盘 | ||
| 相对湿度 | 湿度 （无凝结）30-40％ RH | ||
| 品牌 | 中图仪器 CHOTEST | ||
