| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 中图仪器 CHOTEST | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否进口 | 否 | ||
| 外形尺寸 | 630610500mm | ||
| 重量 | 40kg | ||
| 单次扫描长度 | 55mm | ||
| 最大样品厚度 | 50mm | ||
| 载物台可装载最大晶圆尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 最大扫描采样点数 | 120000 | ||
| 温度 | 16-25℃ | ||
| 湿度 | 30-40 RH | ||
| 样品R-θ载物台 | 电动，360°连续旋转 | ||
| 真空吸盘 | 标准配置6英寸真空吸盘 | ||
| 探针选型 | 探针曲率半径2μm，夹角60° | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 型号 | NS200 | ||
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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 中图仪器 CHOTEST | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否进口 | 否 | ||
| 外形尺寸 | 630610500mm | ||
| 重量 | 40kg | ||
| 单次扫描长度 | 55mm | ||
| 最大样品厚度 | 50mm | ||
| 载物台可装载最大晶圆尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 最大扫描采样点数 | 120000 | ||
| 温度 | 16-25℃ | ||
| 湿度 | 30-40 RH | ||
| 样品R-θ载物台 | 电动，360°连续旋转 | ||
| 真空吸盘 | 标准配置6英寸真空吸盘 | ||
| 探针选型 | 探针曲率半径2μm，夹角60° | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 型号 | NS200 | ||
