| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 是否进口 | 否 | ||
| 操作方式 | 全自动 | ||
| 型号 | WD4000系列 | ||
| 测量系统1 | 厚度和翘曲度测量系统 | ||
| 测量系统2 | 三维显微形貌测量系统 | ||
| 测量系统3 | 膜厚测量系统 | ||
| 测量系统4 | 红外干涉测量系统 | ||
| 晶圆尺寸 | 4" 、6" 、8" 、 12" | ||
| 晶圆载台 | 防静电镂空真空吸盘载台 | ||
| 最大移动速度 | 500mm/s | ||
| 工作台主体 | 大理石 | ||
| 隔振台 | 被动式隔振气浮垫 | ||
| 外形尺寸 | 1500×1500×2000mm | ||
| 总重量 | 1500kg | ||
| 气源要求 | 0.6MPa; 60L/min | ||
| 品牌 | 中图仪器 CHOTEST | ||
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