产品参数 | |||
---|---|---|---|
是否支持加工定制 | 否 | ||
是否进口 | 否 | ||
外形尺寸 | 630610500mm | ||
重量 | 40kg | ||
型号 | NS200 | ||
单次扫描长度 | 55mm | ||
最大样品厚度 | 50mm | ||
载物台可装载最大晶圆尺寸 | 200mm(8吋) | ||
最大扫描采样点数 | 120000 | ||
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 | ||
测量力 | 1-50mg可调 | ||
XY移动 | 150mm×150mm | ||
真空吸盘 | 标准配置6英寸真空吸盘 | ||
相对湿度 | 湿度 (无凝结)30-40% RH | ||
品牌 | 中图仪器 CHOTEST |
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产品参数 | |||
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是否支持加工定制 | 否 | ||
是否进口 | 否 | ||
外形尺寸 | 630610500mm | ||
重量 | 40kg | ||
型号 | NS200 | ||
单次扫描长度 | 55mm | ||
最大样品厚度 | 50mm | ||
载物台可装载最大晶圆尺寸 | 200mm(8吋) | ||
最大扫描采样点数 | 120000 | ||
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 | ||
测量力 | 1-50mg可调 | ||
XY移动 | 150mm×150mm | ||
真空吸盘 | 标准配置6英寸真空吸盘 | ||
相对湿度 | 湿度 (无凝结)30-40% RH | ||
品牌 | 中图仪器 CHOTEST |