真空射频等离子处理器小型等离子清洗机培养皿表面活化处理仪

等离子清洗机是利用气体高压放电，然后把气体分解成等离子体；我们日常生活中常见的有液体，固体和气体，气体再升华就形成了等离子体，也就是物质的第四种形态，我们也称为辉光，所以真空等离子清洗机也叫辉光等离子清洗机。

等离子清洗机的优点：

1.等离子清洗机不需要气态材料进行辅助，减少清洁成本。

2.跟自动化设备进行配套使用，可以提高清洗产能。

3.等离子清洗机是利用辉光进行清洗机，可以说是 的，不用担心材料表面凹凸不平，而达不到清洁效果。

4.可以同时处理金属，塑料，半导体，氧化物，或者是高分子材料都可以处理。

5.由于等离子主要是分解掉有机污染物，所以不用担心污染或危害健康。

6.清洁过后不用打扫工作场所，保持生产环境的洁净。

7.在清洗过程当中可以改善材料表面的活性，亲水性，提高材料表面的达因值。

??? 等离子通常称作物质的第四种状态，前三种状态是固体、液体、气体，它们是比较常见的，就存在于我们周围。等离子在地球上只存在于某种特定环境，如闪电、极光。就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）混合组成。离子体能够导电。

等离子技术的应用：
??? 通过对物体表面进行等离子轰击，可以达到对物体表面的蚀刻，活化，清洗等目的。可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度，等离子表面处理系统现正应用于LCD，LED，IC，PCB，SMT，BGA，引线框架，平板显示器的清洗和蚀刻。等离子清洗过的IC可显著提高焊线强度，减少电路故障的可能性。残余的感光阻剂、树脂，溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区，短时间内就能 。PCB制造商用等离子蚀刻系统进行去污和蚀刻来带走钻孔中的绝缘物。对许多产品，不论它们是应用于工业。电子、航空、健康等行业，可靠性都依靠于两个表面之间的粘结强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物，等离子体都有潜能改进粘着力，提高 终产品质量。等离子体改变任何表面的能力是安全的、 的、经济的。它是许多行业面临的挑战问题的可行的解决方案。

等离子处理的原理：
??? 给一组电极通上射频电源，电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，活性等离子对物体表面进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到表面处理的目的。
??? 在整个等离子处理过程中，影响等离子处理效果的要素包括过程温度、射频功率、气体分配、真空度、电极设置、静电保护等等?

一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；
二、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；

三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于 的绿色清洗方法。这在全球高度关注 的情况下越发显出它的重要性；
四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；
六、等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
七、使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；
八、等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都

PT-10ST
腔体材质：? ? 不锈钢表面处理
供电电源： AC220V
工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率： 0-300W可调（射频匹配一体）
射频频率： 13.56MHz
频率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
真空度： 1pa-30Pa
气体路数： 双路气体输入（高精密浮子流量计）
气体流量： 10—160ml/min(可调)
过程控制： PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间： 1-99999秒钟可调
功率大小：10-100可调
内腔尺寸：220×260×200mm? L×W×H? ? 10L
外形尺寸： 650×550×580mm L×W×H
真空泵： 2XZ-4（抽速4L/S）?
真空室温度： 小于30°C
冷却方式： 强制风冷