| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 德国OEG | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否进口 | 是 | ||
| 保修期 | 1年 | ||
| 气压连接 | <75 mbar | ||
| 电源供应 | 100-220 V AC | ||
| 60W | |||
| 切削运动行程 | 200mm | ||
| 重量 | 约 16Kg | ||
| 显微镜倍率 | Γ’=8…40x | ||
| 划线能力 | 10g – 130g | ||
| 机械尺寸 | 高度 | 550mm | |
| 宽度 | 430mm | ||
| 深度 | 700mm | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
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概括
MYCRO原装进口MR200手动精密金刚石晶圆划片机准确切割结构化硅晶片，是理想工具-半导体技术的制造。MR 200的设置和设备可为定义的结构化硅晶片切割提供高精度划线。MR 200是必不可少的工具，特别是对于半导体技术中的REM制造。 MR200还适用于少量芯片的单芯片化，例如在实验室中使用。
技术参数
●挤压型材的基本框架
●尺寸（BXTxH）；约400x 800x600mm
●重量应用程序：20公斤
●电磁划线发电（查询：气动划线发电，划线力更高）
●通过脚踏开关控制刻划钻石（下降，抬起）
●可调节的划刻力（10g 120g.其他可询价）
●划线槽宽度ca.?5um 10um（取决于划线能力和材料）
●下降速度可调
●划线钻石高度可调
●划线金刚石工作角度可调
●真空抽出划线颗粒
●高质量的变焦显微镜，可无级调节放大倍率，范围为8x 40x
●十字形目镜，可根据边缘，结构和参考标记等准确调整划线。
●在10倍放大倍率下，光学分辨率更好达到10pm *
●涂有特氟龙涂层的真空晶片卡盘，安装在x / y平台上，直径为200 mm（询问时为100 mm）
●通过千分尺螺丝对水夹头进行角度微调（10 um分辨率= 0,006）
●卡盘准确旋转90 *，无需关闭真空
●可调节挡块，使卡盘旋转90 *
●手动X / Y位移台，行程200x 200mm，用于划刻运动和粗略定位
●25毫米测微螺丝，可横向于划线方向准确定位
●10 mm微米螺丝，可在划线方向上准确定位
●带亮度控制和电源的LED环形灯
●最小标本尺寸：（10x 10）mm
●晶圆厚度：硅晶圆的所有标准厚度
●材料：硅，砷化镓（GaAs）（其他询价材料）。视频系统（还带有图像处理软件）作为附件提供光学高质量的200mm光学元件可将放大倍率从8倍无级调节到40倍。 显微镜还提供许多附加功能附件。
三、产品特点：
刻划准确，操作简便
将基板放在卡盘上后，将显微镜聚焦在晶圆表面上。通过手动将工作台驱动到x和y方向，可以将划线切成标本上的参考标记或结构。高质量zoom显微镜可在样品的概览和详细检查之间快速切换。使用x / y工作台的微调，可以非常准确地定位晶圆。划线钻石的触地点可以调节。目镜的发叉或监视器上的发叉定义了划线菱形的触地点。划线菱形由脚踏开关（升高/降低）控制。以便可以用双手控制划线运动。如果定义了划线，则通过脚踏开关降低钻石。为了划片，手动移动整个卡盘。
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