| 产品参数 |
| 型号 | 纳秒绿光ET200MG、飞秒红外ET300IR-FS皮秒紫外ET300UV-PS、皮秒绿光ET300MGPS、飞秒绿光ET300MG-FS、实验室刻蚀机 ET100IR/ET100MG |
| 刻蚀最小线宽 | ＜10 um（最大可以去除95％以上的氧化物镀层） |
| 激光器 | 纳秒绿光532nm、皮秒绿光532nm、皮秒紫外355nm、飞秒红外1030nm、飞秒绿光515nm、实验室刻蚀机1064/532nm |
| 整机精度 | ±15μm |
| 加工幅面 | 100*100/200*200/300*300/400*300/600*600/600*900/700*1400mm可选 可定制加工幅面 |
| 聚焦光斑 | ＜30μm/＜10μm/＜50um |
| 工作台定位精度 | ±3um/±20μm |
| 激光器频率调节范围 | 30-150KHz/1-1000KHz/25-5000KHz/1-2000KHz/ |
| 工作台重复精度 | ±1um/±20μm |
| CCD自动定位精度 | ±3um/±10μm |
| 刻蚀速度 | 最大刻蚀速度4000mm/s（单线） |
| 设备尺寸 | 1200*1200*1700mm（300*00mm幅面约1000 大尺寸及双光路 /1280*1400*1750mm（300*300mm幅面内）约1800Kg 皮秒/飞秒 电话联系 /1800*1800*1750mm（600*600mm幅面内） 约2500kg皮秒/飞秒 |
| 设备重量 | 3500kg |
| 功率 | 5W/10W/15W/20W/30W/40W |
| 可处理文件格式 | 标准CAD DXF文件 |
| 振镜 | 10/14mm通光孔径 |
| 聚焦镜 | 40*40/70*70/110*110mm幅面（根据不同的应用场景选择） |
| 扩束镜 | 4X、2-8X可调、1.5X |
| 热影响区 | ＜5μm/＜3μm |
| 直线度 | ±10μm/±5μm（最小可至±1μm）/±20μm |
| Z轴电机行程 | 50mm（自动软件控制）/手动500mm |
| 设备功耗 | ＜2500W/＜3000W/＜1500W |
| 品牌 | 元禄光电 |
| 最小线宽 | ＜30μm＜10μm＜50um | |
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