| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 刻蚀最小线宽 | ＜10 um（最大可以去除95％以上的氧化物镀层） | ||
| 整机精度 | ±15μm | ||
| 工作台定位精度 | ±2um | ||
| 工作台重复精度 | ±1um | ||
| 刻蚀速度 | ＜4000mm/s | ||
| 设备重量 | 3500kg | ||
| 功率消耗 | ＜3000W | ||
| 品牌 | 元禄光电 | ||
| 型号 | ET1260-FF | ||
| 激光器 | 飞秒、皮秒、纳秒激光器，波长1030nm/532nm/1064nm | ||
| 加工幅面 | 1200*600mm/600*500mm/500*400mm（可定制加工幅面） | ||
| 最小线间距 | ＜10μm | ||
| 聚焦光斑 | ＜10 um | ||
| 激光器频率调节范围 | 20-5000KHz | ||
| CCD自动定位精度 | ±2um | ||
| 设备尺寸 | 1950mmL×1700mmW×1960mmH（根据实际尺寸而定） | ||
| 可处理文件格式 | 标准CAD2004版DXF文件 | ||
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