| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 中图仪器 CHOTEST | ||
| 规格 | 1000×900×1500㎜ | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 影像系统 | 1024×1024 | ||
| XY移动范围 | 300×300㎜ | ||
| XY平台尺寸 | 450×450㎜ | ||
| Z轴聚焦行程 | 100㎜（电动） | ||
| Z向扫面范围 | 10㎜ | ||
| 粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | ||
| 形貌重复性 | 0.1nm | ||
| 原理 | 非接触、三维白光扫描干涉仪 | ||
| 扫描装置 | 长范围，Z轴纳米光栅控制 | ||
| 物镜 | Nikon，10×无限远共轭干涉物镜 | ||
| Z轴 | 100mm行程，纳米位移闭环反馈 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 型号 | SuperViewW3 | ||
