二维材料设备CVD系统

硫粉预热器：

工作温度：400℃

最高温度：1200℃

最快升温速率：≤30℃/min

推荐升温速率：10℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

工作电压：AC220V

额定功率：800W

控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

加热区参数：

额定功率：5kw

最高温度：1200℃

工作温度：1100℃

最大升降温速率：≤30℃/min

炉管尺寸：高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管径可选)

加热区长度：200+200mm  

恒温区长度：290mm

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。

标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；

尺寸：约 550×380×600 mm（炉子）

约：1700×380×620 mm（炉子+滑轨）

可选配单温区、双温区、三温区等加热区。

气路系统参数：

质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

最大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体             

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数：

国产油泵型号：BSV-10

抽速：10m³/h

极限真空度：5*10^-1pa

电源：220v 50hz

电机功率：0.4kw  

进排气连接口：KF25

用油量：1.1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1.配用规管：ZJ-52T电阻规，

2.测量范围： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

3.测量路数： 1路

4.控制范围： 5×10 ³ ～5×10 ^-1 Pa，

5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载，

6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

 使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa 。  
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的 气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
•  石英管的长时间使用温度＜1100℃。
•  对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。