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日本SIMCOION静电消除器超级清洁架独立安装型号5225S AeroBar

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产品价格: /人民币 
最后更新: 2018-06-13 16:27:31
产品产地: 日本
发货地: 本地至全国 (发货期:当天内发货)
供应数量: 不限
有效期: 长期有效
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    产品详细说明

    5225型Aerober离子发生器是一款棒状离子发生器,专门设计用于超净化工艺设备,如半导体。

    单晶硅电极在全球范围内具有无与伦比的采用记录,避免了由于超低颗粒特性和电极材料导致的金属污染风险
    采用脉冲直流法的广泛的静电消除能力
    全数字电路控制,更稳定的离子生成和长离子平衡
    通过安装5200-SR外部传感器附近的中和目标(可选),而不是离子发生器条体,当在中和目标的反馈控制可能的附近的离子平衡(5200-SR未连接,电离器棒体内置传感器是离子平衡自动调整)
    设置半导体前端EFEM对应的长度条
    各种参数如离子发生输出,离子发生时间,报警阈值等可以设置在一个很宽的范围内,从而实现灵活的对应,如长距离应用和弱气流环境
    只需输入参数的数值即可获得高重复性,并且可以在短时间内完成设置
    除了简单的IO报警外,还可以通过免费的DLL进行实时监控,有助于掌握工艺设备的状态
    尺寸高度53mm×深度31mm×长度569mm(-22),721mm(-28),907mm(-36),1128mm(-44),1412mm(-56),1636mm(-64),1918毫米(-76)和2144毫米(-84)
    重量 - 22:1.02公斤/0.17公斤/ 30厘米每增加长度
    外部ABS树脂


    深圳市杉本贸易有限公司上海办事处
    联系人:谢子晗
    QQ:2850148612
    电话(微信同号):15921906333
    shsugimoto2018


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