4635型四方杆是一款高清洁离子发生器,进一步改进了传统型号4630/4632,并提高了静电消除性能和易用性。 适用于有限空间和气流环境下的静电消除,如光罩。
采用原有IsoStat方法进行离子平衡自动调整。 无需调整工作
电源对应于24 V DC和24 V AC
由于它是单晶硅电极,因此对于半导体器件来说它非常干净和安全
最小安装距离为7.6厘米,无紧凑尺寸布局布局
新设计的吹扫气流路径实现长距离和高速电气去除
离子产生法电晕放电型稳态直流法,电极单晶硅(可交换),清洁度ISO 1级(24 V DC)ISO 2级(24 V AC),相应的吹扫气体清洁干燥的空气和N 2
空气连接4毫米孔管道,空气流量〜25 LPM,输入电压24 V AC +/- 5%,50/60 hz,0.1 A typ,24 V DC +/- 5%0.025 A typ
静电消除时间<15秒,15厘米距离空气吹扫,30厘米距离(标准墨盒),15 LPM空气吹扫<6秒,30厘米距离,(喷气十字通道墨盒)
离子平衡+/- 20 v 15厘米距离,可连接的编号14 - 1535使用变压器时最多可连接4个单元
使用4030控制器时最多可装15个单位·
尺寸高度33毫米x宽度33毫米x长度91毫米,除空气连接外,重量108克
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