•美国MCMILLAN生产专用于UHP高纯度工况的流量计.
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MODEL U701 U702 U705 U706 U707 U708 U709 U801 U802 U803 U804
•适用于CMP slurries、酸液、溶剂、以及其它的高纯净流体，完全符合UHP等级规范。
•McMillan的产品QC 部门特别设置了专属的Class100 等级的微粒分析无尘实验室，McM 也是第一间采取这种措施的流量计制造商。
McMillan Model802
•流量测量控制仪
•?专利的Pelton Microturbine设计，搭配Cam-driven Diaphragm Valve，提供 /-1%的高精确度、高达 /-0.2%的覆现性、以及<=3秒的灵敏反应速度，并且没有零点漂移的缺点。
?全机不含消耗性零组件。内部流道采一体成型设计，没有fitting、seal等零组件，维护成本极为低廉。没有流体沈积及阻塞问题，不需更换耗材、backflush，也不需PM。
?所有接液部位零件均采用PTFE、Kal-Rez、sapphire材质制成，具有极佳的化学耐受性。
?适用于CMP slurries、酸液、溶剂、以及其它的高纯净流体，完全符合UHP等级规范。
?具备15~10000mL/min的广泛流量范围、市面上唯一可耐受高达90℃的流体温度、2~80psi的操作压力范围等特性，提供使用者广泛的应用选择。
•McMillan Model 803
•流量测量控制仪
•?U803是最新的产品线，除了兼具U802的操作性能以外，最主要的是体积及重量有大幅的精简，可以安装在更狭小的空间。由于它的接口与U802完全相同，因此也可以直接与U802替换或混用。