一.产品简介
SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。
二.工作原理
一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633μm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。应当注意到，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。
三.产品功能
激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。
激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。
激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。
激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。
四.技术参数：
系统性能
2 测量方式：单频
2 稳频精度：0.05ppm
2 动态采集频率：50 kHz
2 预热时间：5-10分钟
2 工作温度范围：0~40℃
2 环境温度范围：0~40℃
2 存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
2 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
2 大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)
线性测量
2 测量距离：0-40m
2 测量精度：0.5ppm (0-40℃)
2 测量分辨率：1nm
2 测量最大速度：4m/sec
角度测量
2 轴向量程：0-15m
2 测量范围：±10°
2 测量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
2 测量分辨率：0.1μm/m
直线度测量
2 轴向量程：0.1-4.0 m
2 测量范围：±2.5 mm
2 测量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M为光学镜移动距离，单位：m）
2 测量分辨率：0.01μm
垂直度测量
2 测量范围：±3/M mm/m
2 测量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
2 测量分辨率：0.01μm/m
平面度测量
2 轴向量程：0-15 m
2 测量范围：±1.5 mm
2 测量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）
2 测量分辨率：0.1μm
回转轴分度精度测量
2 角度测量范围：0-360°
2 精密转台角度增量：5°
2 精密转台分度精度：±1秒
2 精密转台重复性：0.2秒
