供应IS12C溅射蒸碳仪 北京德东科技有限公司

IS12C溅射蒸碳仪

配置参数如下：

仪器尺寸 ：    400mm×300mm×400mm（L×W×H）

真空样品室：   硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm（D×H）

靶（上部电极）： 50mm×0.1mm（D×H）

样品台：       50mm (D)

操作真空：     4×10^-1mbar至2×10^-2mbar

工作电压：     0-1600V (DC)可调

溅射电流：     0-50mA

溅射定时：     1-9999S

蒸碳电流       0-10A(AC)

真空泵：       4升两级机械旋转泵（极限真空2×10^-2mbar）