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离子减薄仪是电子显微镜的配套仪器，主要用于制备透射薄膜样品。离子减薄仪在材料科学和骨骼学中有着广泛的应用。用离子减薄仪所制备的样品质量均匀而且无任何污染。该仪器可以制备各种固体材料的样品，如：金属、半导体、陶瓷、矿物及骨骼等。
离子减薄技术指标：
1、真空度过 5×10-3Pa（不送气）
2、加速电压 0-10KV连续可调
3、最大束流密度 大于200微安/厘米
4、减薄速度（铜） 30μ/h（最大）
5、采用“薄轴承”试样台，在减薄过程中对离子束无遮挡
6、离子不对样品的最小倾角
7°（普通试样台）
2°（抛光试样台）
7、采用特殊照明系统，观察简便，无须加装光学系统
8、照明系统和观察系统有防污染装置
9、真空系统装有防误操作装置
