美国 HVA 不锈钢高真空闸阀 超高真空插板阀 11000 系列
上海伯东美国 HVA 真空闸阀 真空插板阀 11000 系列满足高真空和超高真空应用, 清洁和高密封性保证 HVA 真空闸阀 与前级泵 涡轮分子泵, 离子泵等完美联用.
HVA 不锈钢高真空闸阀 真空插板阀 11000 系列产品特点
高真空和超高真空, 阀门主体和内部组件采用不绣钢材质
阀门口径 DN 16 - 800 mm , 手动或气动驱动
不绣钢焊接波纹管, 标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
最高温度 250°C
坚固耐用, 达到设定的真空度时, 气动阀门自动开闭, 有purge 接口
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口
HVA 高真空闸阀 超真空插板阀 11000 系列技术参数
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阀门材质: |
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- 阀门主体 |
304 不锈钢 |
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- 焊接波纹管轴封 |
AM - 350 |
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阀门密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡胶 |
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- 超高真空 |
铜垫圈 / 氟橡胶 |
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真空: |
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- 压力范围 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差压关闭 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 开启前最大压力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤温度（不含电磁阀）: |
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- 佛橡胶密封 |
150 °c, 可选配置最大 250 °c |
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- 铜垫圈密封 |
阀门关闭 200 °c, 阀门打开 150 °c |
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- 驱动方式 |
手动 60 °c, 气动 60 °c |
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- 气体 |
80 psig (5.5 bar) |
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- 电磁 |
4.0 Watts |
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- 供电 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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- 可选电压 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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- 位置指示器,最大 |
115 VAC |
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使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) |
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公称通径: DN 16 - 800 mm |
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美国 HVA 11000 系列真空闸阀有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸（可选择的) , 阀门保持关闭状态以防空气压力损失, 11000 系列真空闸阀独特的气缸设计保证最低的冲击和振动, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业. HVA不锈钢真空闸阀提供了业界最小的内部接口. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性,效消除了虚漏和缺陷部分, 阀体变形. 阀门手动, 三种驱动方式可选, 或定制法兰满足不同应用. 美国 HVA 真空闸阀 11000 系列可任意位置安装.
HVA 真空闸阀 真空插板阀应用案例一
上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统, 采用美国 HVA 真空闸阀 11000 系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和涡轮分子泵 Hipace 80 成功分析生长晶体表面结构.
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HVA 真空闸阀 真空插板阀应用案例二
美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用
半导体管道插板阀应用示意图 现场图
HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列组成:
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商. 美国 HVA 原装进口真空阀门, 超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造. 主营高真空闸阀, 超高真空插板阀广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
