液氮深冷处理设备主要由液氮罐、调压保护装置、电控柜、深冷箱、换热器、保温装置、电动机、循环风扇、调温装置等组成。以液氮作为冷源。液氮存放在低温液体罐内，使用时先关闭液氮罐的放空阀，再打开增压阀，因部分液氮气化使液氮罐内部压力升高，此时找开液氮的出口阀，液即从贮罐内压出，经气动薄膜调节阀进入深冷箱。液氮进入设备后，经喷管喷出，由于箱体温度高于液氮温度，所以它很快气化，且体积膨胀、使气温下降，轴流风机将低温氮气吹入工作室，使工件冷却。
对于深冷处理技术，其处理工艺是决定液氮深冷处理设备处理效果的关键。深冷工艺中的关键影响因素主要包括：深冷处理方式、升降温速度、回火前处理或者回火后处理、保温时间、深冷次数等。
1、深冷处理方式
可分为液体法和气体法两种。液体法是将工件直接放入液氮中，处理温度为- 150℃。该方法的缺点是热冲击性大，有时甚至造成工件开裂。气体法是通过液氮的汽化潜热和低温氮气吸热来制冷，处理温度达- 196℃，处理效果较好。
2、升降温速度
目前，对深冷升、降温速度主要有两种观点。一种观点认为深冷的升降温速度不能太快，即不赞成将工件直接浸入液氮中，因为激冷将导致工件内部的应力增大，易造成工件的变形或开裂。
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