设备主要用于太阳能钙钛矿电池激光刻蚀，适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀，同时可针对白玻璃基底激光划线。设备标准尺寸1200*600mm，同时预留出小面积300*300mm内的小幅面加工需求。
设备简介
设备采用固体激光器，激光波长1030nm，适合对导电玻璃与镀层进行精细刻线；采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀，操作简单，方便快捷；通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计，加上真空吸附托盘装置，能有效地解决激光刻蚀机在加工运行中的平稳性；采用独特除尘系统设计，能保证玻璃与工作平面的清洁，保证激光刻蚀过程中无残留。
设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体，具有高灵活性、高精度、高速度等先进制造技术的特征。可大范围内进行各种图案，各种尺寸的精密、高速刻蚀，并且能够保证很高的产能，是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。
适用材料
玻璃基底上薄膜激光刻蚀，触摸屏、光伏太阳能电池、电至色玻璃、其它显示屏。可用于导电银浆、ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、碳粉、金、银等导电金属、氧化物材料处理。同时，可加工白玻璃激光划线应用，最小线宽小于10微米。
整体说明
主要构成：激光器、光路系统、工作台、控制系统、 定位系统、 抽尘系统、 真吸附空系统等组成。
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型号 |
ET1260-FF钙钛矿电池激光刻蚀机 |
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激光器 |
飞秒、皮秒激光器，波长1030nm/532nm |
纳秒激光器，波长1064nm |
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加工幅面 |
1200*600mm（可定制小幅面或更大加工幅面，已预留小面积300*300mm加工幅面） |
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聚焦光斑 |
＜10μm |
＜20μm |
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激光器频率调节范围 |
20-5000KHz |
100-500KHz |
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刻蚀最小线宽 |
＜10 um |
＜20μm |
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（最大可以去除95%以上的氧化物镀层） |
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整机精度 |
±15μm |
±20μm |
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最小线间距 |
＜10μm |
＜20μm |
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工作台定位精度 |
±2um |
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工作台重复精度 |
±1um |
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CCD自动定位精度 |
±2um |
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刻蚀速度 |
＜4000mm/s |
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设备尺寸 |
1950mmL×1700mmW×1960mmH |
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设备重量 |
3500kg |
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功率消耗 |
＜3000W |
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可处理文件格式 |
标准CAD2004版DXF文件 |
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注：根据实验室前期实验性阶段需要，武汉元禄光电针对性开发出了实验室阶段小型激光刻蚀机，适用于100*100mm以下导电玻璃激光刻蚀、划线应用，欢迎前来咨询了解。元禄光电www.whlasers.com
