低温等离子灭菌器是在密封容器形成的灭菌室，根据预设条件和特定的灭菌设备，激发产生辉光放电，形成低温等离子体。再以过氧化氢作介质，过氧化氢等离子体中含有氢氧自由基，过羟自由基，活性氧原子，活性氢原子等活性成分，这些活性离子以及丰富的紫外线具有很高的热动能，从而进一步提高与微生物蛋白质和核酸物质的作用效能，在短时间内使微生物灭亡，达到灭菌的效果。
低温等离子过氧化氢灭菌系统主要是基于等离子的固有特性，在低温和真空的状态下，通过高频电场作用，使灭菌容器舱内形成均匀的等离子场，等离子体在形成过程中，会产生大量的紫外线，紫外线则能直接破坏微生物的基因物质，打破微生物分子的化学键，生成挥发性的化合物。通过等离子体的蚀刻作用，等离子中活性物质与微生物体内的蛋氢质和核酸发生化学反应，能够摧毁微生物和扰乱微生物的生存功能。然后注入过氧化氢为灭菌剂，在灭菌舱内雾化弥漫。过氧化氢在此作用中将会有离子化分解反应，并作用中将会有离子化分解反应，并作用于微生物之细胞，破坏其生命，进一步对微生物实施杀灭。灭菌完成后分解成水分子及氧分子，无D害物质残留，不需通风和排水，安全而环保。
用户可以通过合理的应用低温等离子灭菌器，不但可减轻医护人员面对工作危害及环境污染的负担，同时也可为医疗机构节约大量的灭菌成本。另外，低温等离子灭菌器还能广泛的应用于对湿热M感的精密医疗器材的灭菌。虽说，可应用在医疗行业中的灭菌器，除了低温等离子灭菌器外，还有其它种类的灭菌器。但低温等离子灭菌器与其它灭菌器相比，还是具备一定的优势，也正是凭借着这些优点，低温等离子灭菌器才能在市场上得到广泛应用。
