气体传感器阐述

半导体气体传感器可分为电阻型和非电阻型结型、MOSFET型、电容型。电阻型气敏器件是气体分子引起敏感材料电阻变；非电阻型气敏器件有Ms二极管和结型二极管以场效应管MSFET，它利用敏感气体会改变MOSFET开启电压，其与ISFET离子敏传感器件相同。

气体传感器规格

温度对传感器灵敏度有影响。下左为SnO2气敏器件对气体温度电阻特性曲线。由可见，器件在不同温度下对气体灵敏度不同，利用这一特性识别气体。制备工艺对SnO2气敏特性也有很大影响。如在SnO2中添加ThO2，改变烧结温度和加热温度就产生不同气敏效应。

气体传感器种类

SnO2电阻型气敏器件通常采用烧结工艺。以多孔SnO2为基底材料，再添加不同其他物质，用制陶工艺烧结而成，烧结时埋入加热和测量电极。此外，也蒸发和溅射等工艺制成薄膜器件和多层膜器件，这类器件灵敏度高，动态特性。