100-30万级无尘车间工程装修方案设计、无尘车间工程装修规划、洁净车间工程装修方案设计、无菌车间工程装修规划、洁净厂房工程装修方案设计
电子工业洁净室的设计
电子工业洁净室的特点：
电子工业洁净室的特点一是大，二是多变。几千平方米、上万平方米的面积并不少见。电子工业的技术更新快，工艺变了，平面布局就要跟着变，因此平面上不宜有固定的分隔，特别是很小的分隔。具体说，有以下一些独特之处应加注意。
（1）平面由工艺决定，电子工业洁净厂房的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性，满足产品生产工艺改造和扩大生产的需求。
（2） 主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不宜采用内墙承重体系。
（3）大型电子工业洁净厂房常采用上技术夹层、下技术夹层这种“夹心”式多层构造。
（4）应考虑大型生产工艺设备的安装、维修要求，设置必要的运输通道和不影响洁净生产环境的安装口或检修口。
（5）电子工业洁净室按二级耐火等级设计。
（6）特种气体的储存和分配间应有耐火隔墙与洁净室（区）分开，该墙耐火极限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物气瓶存区至少三面是敞开的，气瓶与周围构筑物或围栏之间的距离应大于3M，储存区设置的雨篷应不低于3.5M。
（7）电子工业洁净室的装饰材料不得采用释放对电子产品有影响物质的材料。
（8）电子工业洁净室允许设空气吹淋室，这是和一般生物洁净室不同的。吹淋室应与洁净工作服更衣室相邻。单人吹淋室按班人数为30人一间设计，当工作人员超过5人时，应设旁门，当人数太多或为了缩短通过时间，也可设遂道式吹淋室。
（9）对于高级别洁净室，为了尽可能不影响气流的单向性、平行性，照明灯具采用净化泪珠形灯具。
（10）电子工业洁净室常要根据生产工艺要求设置防静电环境，以便抑制静电的产生，将已产生的静电迅速、安全的排除。
（11）电子工业洁净室友有对防微振的特殊要求，在厂地环境上应避开振动源。
（12）电子工业洁净室除有一般给排水要求外，对超大规格集成电路的用水也有标准。
电子工业洁净厂房设计规范
批准部门
中华人民共和国住房和城乡建设部
目的：
为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境保护的要求，制定本规范。
适用范围：
本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。
电子制造业厂洁净室厂房特点:
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。 这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
●电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)
●电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流 洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
●电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
● 电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的--值：
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项：
●保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量：
●根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量：
●向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量：
电子工业洁净室净化原理
新鲜空气→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌
等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的。
电子工业洁净室净化参数
换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波动±2℃。
温度45－65％；GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A)；新风补充量是总送风量的10％－30％；照度300LX。
温度45－65%；GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10%－30%；照度300Lx
净化工程中空气净化处理方案
●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初、中、高--效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚--高效空气过滤器代高效空气过滤器。
●空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换;中效、亚--高效、高--效空气过滤器宜按额定风量选用;阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
●确定集中或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。
●净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。
●送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。
●净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。
●净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。
广州市正一净化科技有限公司：
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