低温等离子废气处理中的高能电子可使电负性高的气体分子（如氧分子、氮分子）带上电子而成为负离子，它具有许多良好的效应，对人体及其他生物的生命活动有着十分重要的影响，被人们誉为“空气维生素”、“长寿素”。
低温等离子体的净化作用还具备显著的生物效应。发生的静电作用在各种细菌、病毒等微生物表面产生的电能剪切力大于细胞膜表面张力，使细胞膜遭到破坏，导致微生物死亡。因此低温等离子体除臭技术具有优秀的消毒杀菌之功效。
在低温等离子废气治理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室(PRC)。反应室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。
一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。
同时注入环境或者二级气体来优化反应室的湿度和温度登记，与此同时加入离子来改善反应室内的反应。这种冷离子体处理方法使有机气体在低温下进行“氧化”。
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