天津瑞利光电科技有限公司优势经销德国ATL Lasertechnik紫外线光源ATLEX-S
产品型号：ATLEX-S
关键字：ATL Lasertechnik紫外线光源ATLEX-S
关键字描述：ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源，专为中低占空比S应用而设计。
产品介绍：
超紧凑的尺寸
软电晕预电离
高压固态脉冲发生器
激光头体积<3l
TMC（全金属陶瓷）容器
集成真空泵和卤素过滤器
完全风冷，主动热管理
RS-485，RS232，USB和光纤接口，用于系统集成
可冲洗光学支架
能量稳定模式
ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源，专为中低占空比S应用而设计。
参数：
气体介质 ArF KrF
波长 nm 193 248
高压开关技术 固态开关 固态开关
重复率max. Hz 300 500 300 500
脉冲能量max. mJ 10 10 15 15
平均功率max. W 2.4 4 4 6
脉冲持续时间 ns 5-8
光束尺寸（V x H） mm 4 x 6
光束发散角（V x H）mrad 1 x 2
能量稳定性（标准偏差）% < 3
尺寸（长x宽x高）mm 630 x 400 x 300
重量 kg 65
冷却 空气
电源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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