等离子净化设备是目前工业废气处理中的常用设备之一，此设备的出现，改善了传统活性炭材料的工艺技术，再生原料无需处理，无二次污染，同时运行与维护的成本都比较低。
等离子净化设备深受欢迎与其工作原理相关，通过外加电场的作用，产生的介质放电产生大量的携能电子攻击污染物分子，使其电离、解离和激发，使大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害的物质转变为无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以将解去除。
常见的产生等离子介质的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，所以许多等离子净化设备也分高温与低温两种。
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