低温等离子技术
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。有机化合物最终产物为CO2、CO和H2O。若有机物是氯代物，则产物应加上氯化物，而无中间副产物。降低了有机物的毒性，同时避免了其他方法中的后期处理问题。
低温等离子体主要是由气体放电产生的，所谓气体放电是指，通过某种机制使一个或几个电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气体由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。放电方式可分为辉光放电（Glowdischarge）、电晕放电（Coronadischarge）、介质阻挡放电（Dielectricbarrierdischarge，DBD）、射频放电（Radiofrequencydischarge）及微波放电（Microwavedischarge）等。辉光放电通常在低气压下进行，所需的放电电压较低、电子的能量也较低；电晕放电可在常压下进行，但能量过于集中，很难获得大体积的等离子体；介质阻挡放电则结合了前两者的优点，可以在常压下产生大面积的低温等离子体；射频放电和微波放电常用于无电极放电，可获得纯净的等离子体。工业上使用的主要是电晕放电和介质阻挡放电（用于废气中难降解物质的去除）两种。
低温等离子体技术处理有机废气具有以下优点：
①能耗低，可在室温下与催化剂反应，无需加热；
②使用便利，设计时可以根据风量变化以及现场条件进行调节；
③不产生放射物；
④尤其适于处理有气味及低浓度大风量的气体。
缺点：
①对水蒸气比较敏感，当水蒸气含量高于5％时处理效率及效果将受到影响；
②初始设备投资较高。
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